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檢測技術(shù)

SF6氣體回充凈化裝置主要配件介紹

來源：www.zeichua.cn 更新時(shí)間：2019-12-04

MEQHC-B-150 SF6氣體回充凈化裝置主要配件介紹
1. 前級(jí)真空泵
真空泵為直聯(lián)旋片式雙極真空泵，利用偏心地安裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子和在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)的借彈簧力和離心力緊貼缸壁的兩塊旋片，把進(jìn)、排氣口分隔開來，轉(zhuǎn)子定向旋轉(zhuǎn)時(shí)，周期重復(fù)地使進(jìn)氣口方的腔室逐漸擴(kuò)大而吸入氣體，使排氣口方的腔室逐漸縮小，壓縮已吸入的氣體，把氣體從排氣閥排出，從而達(dá)到抽氣目的。該泵為雙級(jí)結(jié)構(gòu)，進(jìn)口壓強(qiáng)高時(shí)，二級(jí)可同時(shí)把氣排出泵腔，進(jìn)口壓強(qiáng)低時(shí)，氣體由進(jìn)口進(jìn)入高壓腔，壓縮后通過級(jí)間氣道進(jìn)入低級(jí)腔，再次壓縮后，從排氣閥排出。故可獲得較單級(jí)為高的極限真空。
2. 羅茨真空泵
參閱隨機(jī)附送的《羅茨真空泵系列使用說明書》。
3. 真空計(jì)
真空計(jì)為真空測量儀表。具體使用方法請參閱隨機(jī)附送使用說明書。
4. 閥門
主系統(tǒng)閥門選用4只球閥，具有閥門開啟與關(guān)閉狀態(tài)明確的優(yōu)點(diǎn)，可有效地避免誤操作。